Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное силана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение

• Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:

• Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:

• Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:

Физические свойства

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства

• Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:

• Реагирует с галогенами:

Применение

• Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.
• Поставляется в баллонах под давлением 13 атм.
• Цена на метилсилан ≈4 000$/кг.

Литература

• Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5